激(ji)光(guang)(guang)位移傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工作(zuo)原理基于光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干涉和(he)三角測(ce)量原理。傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)發(fa)射(she)一束(shu)激(ji)光(guang)(guang),經過物(wu)(wu)(wu)體表面反射(she)后(hou)被(bei)(bei)接(jie)收器(qi)(qi)接(jie)收。通(tong)過測(ce)量激(ji)光(guang)(guang)束(shu)往返(fan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)時間差或相位差,可以計算(suan)出目標物(wu)(wu)(wu)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)位移。在測(ce)量中,激(ji)光(guang)(guang)束(shu)照射(she)在被(bei)(bei)測(ce)物(wu)(wu)(wu)體上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)某一點上,被(bei)(bei)測(ce)物(wu)(wu)(wu)體表面上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)點作(zuo)為光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)反射(she)面,反射(she)回來的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)會與(yu)發(fa)射(she)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)發(fa)生干涉。干涉產(chan)生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)程差與(yu)物(wu)(wu)(wu)體與(yu)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)距離(li)成正比(bi)。通(tong)過測(ce)量這個光(guang)(guang)程差的(de)(de)(de)(de)(de)(de)變化(hua),可以求得物(wu)(wu)(wu)體與(yu)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)之間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)距離(li)變化(hua),即位移。
具(ju)體測量時,利用三(san)角函數的(de)(de)(de)關系(xi),將(jiang)物體與傳感(gan)器之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)距離變化轉化為光程差的(de)(de)(de)變化。通過(guo)測量光程差的(de)(de)(de)變化,再經(jing)過(guo)一(yi)系(xi)列的(de)(de)(de)信(xin)號處理,可以得到物體的(de)(de)(de)位移信(xin)息。
此外,激光位移傳(chuan)感(gan)器還采用了一些其他技(ji)術來(lai)提高(gao)測(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)和穩定性,例如光學放大(da)、數字信號處理、溫度(du)補償(chang)等。這些技(ji)術的應用可以(yi)減小(xiao)測(ce)(ce)量(liang)(liang)誤(wu)差和外界干擾對(dui)測(ce)(ce)量(liang)(liang)結果的影響,提高(gao)傳(chuan)感(gan)器的性能和可靠性。
綜上所述,激(ji)光位移(yi)傳感器是(shi)一種高精度(du)、高速(su)度(du)、抗干(gan)擾能力強的測(ce)量工具,具有廣泛的應用前景。了解其工作原理可以幫助更(geng)好地使(shi)用和(he)維護傳感器,保證(zheng)測(ce)量精度(du)和(he)可靠性。