激(ji)(ji)光位移(yi)傳(chuan)感器(qi)的工(gong)作原理(li)基于激(ji)(ji)光三角測量(liang)法。具體來說，激(ji)(ji)光器(qi)發射一束激(ji)(ji)光，經過(guo)光學(xue)系(xi)統照射到被(bei)測物體表(biao)面，反(fan)射回來的光線再經過(guo)光學(xue)系(xi)統成像在光電(dian)探測器(qi)上(shang)。當被(bei)測物體發生(sheng)位移(yi)時(shi)，反(fan)射光在探測器(qi)上(shang)的位置會發生(sheng)改變(bian)。通過(guo)檢測這個改變(bian)量(liang)，可以計算出物體的位移(yi)量(liang)。
根據測(ce)量方式(shi)(shi)的不同，激(ji)光(guang)位(wei)移(yi)(yi)傳感器可(ke)以分為透射(she)(she)式(shi)(shi)和反射(she)(she)式(shi)(shi)兩種。透射(she)(she)式(shi)(shi)傳感器是通過(guo)測(ce)量光(guang)線(xian)通過(guo)被(bei)測(ce)物(wu)體(ti)后的強度(du)分布(bu)來計(ji)算物(wu)體(ti)的位(wei)移(yi)(yi)量，而反射(she)(she)式(shi)(shi)傳感器則是通過(guo)測(ce)量光(guang)線(xian)反射(she)(she)回來后成像在探測(ce)器上(shang)的位(wei)置(zhi)來計(ji)算物(wu)體(ti)的位(wei)移(yi)(yi)量。
此外(wai)，激(ji)光(guang)位移傳感器還可以(yi)利(li)用激(ji)光(guang)光(guang)束的(de)(de)(de)(de)特性，如光(guang)的(de)(de)(de)(de)干涉原(yuan)理(li)和三角(jiao)測(ce)量(liang)(liang)原(yuan)理(li)，來測(ce)量(liang)(liang)物體(ti)(ti)與傳感器之間(jian)的(de)(de)(de)(de)距(ju)離(li)或位移。在(zai)測(ce)量(liang)(liang)中，激(ji)光(guang)束照射在(zai)被測(ce)物體(ti)(ti)上(shang)的(de)(de)(de)(de)某一點(dian)上(shang)，反射回來的(de)(de)(de)(de)光(guang)會(hui)與發射的(de)(de)(de)(de)光(guang)發生干涉。干涉產(chan)生的(de)(de)(de)(de)光(guang)程差與物體(ti)(ti)與傳感器的(de)(de)(de)(de)距(ju)離(li)成正比。通過測(ce)量(liang)(liang)這(zhe)個光(guang)程差的(de)(de)(de)(de)變化(hua)，可以(yi)求(qiu)得物體(ti)(ti)與傳感器之間(jian)的(de)(de)(de)(de)距(ju)離(li)變化(hua)，即位移。
總之，激光位移傳感器具有高精度、快速響應和非接觸測(ce)量等特點，被廣(guang)泛應用于工業自(zi)動化、機器人導航、醫療(liao)器械(xie)和科學(xue)研(yan)究(jiu)等領域。
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