激光(guang)(guang)位移傳(chuan)感(gan)器是一種采用(yong)激光(guang)(guang)干(gan)涉(she)測量原理(li)的高精度測量儀器。它通過測量被測物(wu)體(ti)(ti)表面(mian)與(yu)激光(guang)(guang)束反(fan)射或散射后形(xing)成的干(gan)涉(she)圖案,進而精確計算出被測物(wu)體(ti)(ti)與(yu)傳(chuan)感(gan)器之間的距離。
激(ji)光位(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)的測(ce)量(liang)精度(du)(du)(du)(du)非(fei)常高,根(gen)據(ju)(ju)市場上(shang)主流的激(ji)光位(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)數據(ju)(ju),其測(ce)量(liang)精度(du)(du)(du)(du)可以達(da)到0.1微米甚至更高。不過,測(ce)量(liang)精度(du)(du)(du)(du)可能受到多種因素的影(ying)響,包(bao)括測(ce)量(liang)范(fan)圍、環境因素(如(ru)震(zhen)動(dong)、溫度(du)(du)(du)(du)等)、激(ji)光束的直(zhi)線(xian)度(du)(du)(du)(du)、相干性、波長穩定性、機械結構的穩定性等。一般來說,在(zai)測(ce)量(liang)范(fan)圍內,隨著(zhu)距離的增加,測(ce)量(liang)精度(du)(du)(du)(du)可能會下降。
此外,激光位(wei)移傳感器具有高精(jing)度(du)、高靈敏度(du)、非接觸式測(ce)(ce)量等優點,因此廣泛應用于機(ji)(ji)械制(zhi)(zhi)造、自動化控(kong)制(zhi)(zhi)、精(jing)密(mi)(mi)儀器、航空航天等領域(yu),如用于機(ji)(ji)床加工中(zhong)的位(wei)置檢測(ce)(ce)、工件的精(jing)密(mi)(mi)測(ce)(ce)量、機(ji)(ji)器人的軌跡控(kong)制(zhi)(zhi)、飛(fei)行(xing)器的姿態控(kong)制(zhi)(zhi)等。