激(ji)光(guang)(guang)位移傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)工作原理基于光(guang)(guang)的(de)(de)干涉(she)和三(san)角測(ce)量(liang)原理。傳(chuan)感(gan)器(qi)發射(she)(she)一(yi)束(shu)激(ji)光(guang)(guang),經過物(wu)(wu)(wu)體表面反(fan)射(she)(she)后被接(jie)收器(qi)接(jie)收。通過測(ce)量(liang)激(ji)光(guang)(guang)束(shu)往返的(de)(de)時間差或相(xiang)位差,可以計算出目標物(wu)(wu)(wu)體的(de)(de)位移。在(zai)(zai)測(ce)量(liang)中,激(ji)光(guang)(guang)束(shu)照射(she)(she)在(zai)(zai)被測(ce)物(wu)(wu)(wu)體上的(de)(de)某一(yi)點上,被測(ce)物(wu)(wu)(wu)體表面上的(de)(de)點作為(wei)光(guang)(guang)的(de)(de)反(fan)射(she)(she)面,反(fan)射(she)(she)回來的(de)(de)光(guang)(guang)會與(yu)發射(she)(she)的(de)(de)光(guang)(guang)發生(sheng)(sheng)干涉(she)。干涉(she)產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差與(yu)物(wu)(wu)(wu)體與(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)距離成(cheng)正比。通過測(ce)量(liang)這個光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差的(de)(de)變化(hua),可以求得(de)物(wu)(wu)(wu)體與(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)之間的(de)(de)距離變化(hua),即位移。
具(ju)體(ti)(ti)測(ce)量(liang)時,利(li)用三角(jiao)函數的(de)關系,將物體(ti)(ti)與傳感器(qi)之間的(de)距離變化(hua)轉化(hua)為(wei)光程差(cha)的(de)變化(hua)。通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)光程差(cha)的(de)變化(hua),再(zai)經過(guo)一系列的(de)信(xin)號處理,可以得到(dao)物體(ti)(ti)的(de)位移信(xin)息。
此外,激光(guang)位(wei)移傳感器還(huan)采用了一些其他技術來(lai)提(ti)高測量精度和穩定(ding)性,例如光(guang)學放大、數(shu)字(zi)信號處(chu)理、溫(wen)度補償等。這些技術的應(ying)用可(ke)以減小測量誤差和外界干(gan)擾對測量結果(guo)的影響,提(ti)高傳感器的性能和可(ke)靠(kao)性。
綜(zong)上所述,激光位移傳(chuan)感器是一(yi)種高精度、高速(su)度、抗干擾能(neng)力強的測量(liang)(liang)工(gong)(gong)具(ju),具(ju)有廣泛的應用(yong)前景。了解其工(gong)(gong)作原理可(ke)以幫(bang)助(zhu)更好地使(shi)用(yong)和維護(hu)傳(chuan)感器,保證測量(liang)(liang)精度和可(ke)靠性(xing)。