激光(guang)位移(yi)(yi)傳感(gan)器(qi)的(de)工作原理是利用激光(guang)器(qi)產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)一(yi)束平行光(guang)線(xian),經過透(tou)鏡后照射到被測物體上(shang),反(fan)射回來的(de)光(guang)線(xian)再次(ci)通過透(tou)鏡對準(zhun)一(yi)個受光(guang)敏電阻(zu)檢測器(qi)(PSD)的(de)感(gan)光(guang)面(mian)上(shang)。當被測物體發生(sheng)(sheng)運動時,反(fan)射回來的(de)光(guang)線(xian)會在感(gan)光(guang)面(mian)上(shang)產(chan)生(sheng)(sheng)位移(yi)(yi),由(you)PSD將其轉化為電信號輸出。
激光(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)是(shi)一(yi)種(zhong)利用激光(guang)(guang)技術進行測量的(de)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi),它由激光(guang)(guang)器(qi)、激光(guang)(guang)檢(jian)測器(qi)和測量電路組成。激光(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)能夠精(jing)確非接觸(chu)測量被測物體的(de)位(wei)(wei)置(zhi)、位(wei)(wei)移(yi)等(deng)變化(hua),可以測量位(wei)(wei)移(yi)、厚度(du)、振動、距離、直(zhi)徑等(deng)精(jing)密的(de)幾何測量。激光(guang)(guang)有直(zhi)線(xian)度(du)好的(de)優良特性,同樣激光(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)相對于已知的(de)超聲波傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)有更高的(de)精(jing)度(du)。
激光位移(yi)傳感器的(de)應用領域非常(chang)廣(guang)泛,包括(kuo)尺寸(cun)測(ce)定(ding)、金屬薄片(pian)和薄板的(de)厚度(du)測(ce)量、氣缸筒(tong)的(de)測(ce)量、生產線上灌(guan)裝級別的(de)檢查(cha)、電子元件的(de)檢查(cha)等。它具有非接(jie)觸式、高精度(du)、高分辨率、高靈敏(min)度(du)、響應速度(du)快等特點,并(bing)且不受(shou)環境干擾,可(ke)以實(shi)現長期穩定(ding)的(de)測(ce)量。
需要注(zhu)意的(de)是,激光的(de)產生裝置相(xiang)對(dui)比較復雜且體積較大,因(yin)此會對(dui)激光位移傳感器的(de)應用(yong)范(fan)圍要求較苛(ke)刻。